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第575章 获批（第1页）

来到沪上微电科的办公室，已经有十几个人等在那边了，他们分别来自华科院光电所，华科院电工所以及长光所，而今天这支院士队伍，是由华科院院长亲自带队的。

“孟总，关于下一代光刻机研发的评估工作已经结束了。”

“辛苦大家了，不知道结论如何？”

“孟总说的没错，下一代光刻机的研发价值和研发难度，都不亚于航母。”

孟谦不自主的点头，“整个光刻机项目越推进问题越多，下一代光刻机的研发难度也在一次次刷新我们的认知。

据我们了解，包括蔡司，cymer在内的一批全球顶尖企业同样都遇到了困难，蔡司已经放弃了连续三年的研发方向准备做调整，下一代光刻机的研发注定是一场恶战。

没有改变的是下一代光刻机的核心技术依然是光源，镜头以及精密仪器，只不过这一次我们需要的是全球顶级的相关技术。”

路院长把一份文件放在了孟谦的面前，露出了慈祥的微笑，“孟总看看吧，这是我们的草案。”

这份草案是在大风集团提交的草案基础上进行的修改，而大风集团之前提交的草案内容是以光刻机为核心项目，加速杭城信息物理国家实验室的正式批准成立，以光刻机为轴心，拉动一场大范围的科技发展。

之前说过，国家实验室的意义极为重大，虽然孟谦之前给领导们看了公司的未来实验室，虽然目标直指第四次工业革命，但目前还是愿景大于现实，国家实验室需要一些真正客观存在且可以立项的大项目。

所以孟谦找出了这么一个项目，那就是下一代光刻机。

光刻机这个项目非常符合上面的胃口，因为它有三大特征，项目难度达到了世界顶级水平，光刻机的发展可以拉动材料科学，精密机械等多个重要学科的发展，光刻机本身对于更重要的芯片发展有着关键价值。

而且因为这一国家实验室是依托大风集团这家私企的，航母更大程度上拉动的是国企的科技发展，而杭城信息物理国家实验室正好可以更大程度的拉动私企的科技发展，两边同时发力，完美。

从大风集团递交的草案可以看到，关于光刻机的制造，大风集团已经召集了包括聚光科技，沪上仪电，莱伯泰科等八十多家精密仪器，光源，镜头等领域的国内企业，这个项目必将直接影响到国内一批企业的科技发展。

再加上大风集团本身作为私企，光刻机本身又是大风集团的一个商业产品，在可控程度上还能拉拢外部资源，比如同样在草案上写着的还有大风集团寻找的海外合作单位，光是一个霓虹国，就有包括日立，霓虹国山崎马扎克，霓虹国捷太科特，霓虹国美德龙等十多家霓虹国相关顶尖企业。

大风集团通过自己的技术和市场换取了相应的合作，或是纯制造，或是技术支持，为光刻机项目提供了有力的场外援助。

一旦光刻机项目成功拉动了国内相关的技术水平，之后就能更进一步的去发展第四次工业革命相关的技术了，所以以下一代光刻机作为杭城信息物理国家实验室的核心启动项目，具备着各项合适的因素。

而在修改后的草案中，主要是明确一下权利义务以及国家科研机构所扮演的角色，比如华科院这边会大力支持这个项目，但是来的团队算大风集团员工么？他们的工资怎么算，职责怎么算？

最后采取的是项目制，杭城信息物理国家实验室出项目，然后拿着项目去国家科研机构邀约团队，最后根据项目出团队，确定的团队华科院会发一笔工资，国家实验室这边会发一笔工资，但人还是属于华科院的。

然后就是保密工作，毕竟是国家实验室，对保密工作的要求是极高的，尤其大风集团还是家私企，还要跟外企合作，对于保密工作的要求就更高了，某种程度上也是一种限制，但是没办法，孟谦也能理解。

至于国家实验室的技术产出，作为商业产品，产品的商业利润属于大风集团，但项目技术自然是归大风集团和国家共有的。

很认真的看完了草案，孟谦没有什么太大的意见，基本上是认同的，毕竟孟谦本并没有什么叛国之心。

方案这边没问题，路院长开始给孟谦介绍今天带来的几个人，“这三位分别是胡嵩，贺晓东，罗显刚，来自我们华科院的光电所”

孟谦并不知道的是，这几位就是在曾经一世负责超分辨光刻装备项目的核心技术人才，超分辨光刻机装备是由华科院光电所团队耗时7年完成，在国外技术和材料垄断的前提下实现的全自助研发光刻设备。

这一设备突破了高均匀性照明，超分辨光刻机镜头，纳米级分辨力检焦以及间隙测量和超精密多自由度工作台等关键技术，是全球分辨力最高的紫外光超分辨光刻设备，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。